真空漏孔的校準步驟――比擬法
比擬法校準真空漏孔時(shí)，要將從真空漏孔流出的氣體產(chǎn)生的效應與參考規范相比。為防止測量?jì)x器的非線(xiàn)性和漂移帶來(lái)的誤差，參考規范應與真空漏孔的值盡可能瀕臨。
靜態(tài)比擬法
氣體微流量表靜態(tài)比擬法
如圖6所示，順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q，別離引人到一個(gè)真空室中，再經(jīng)過(guò)限流孔被真空泵抽走，比擬它們在真空室中產(chǎn)生的靜態(tài)失調壓力輸入信號(別離為HL和Hs)，而后用式(9)劃算出真空漏孔的漏率。
QL=(HL/Hs)Qs　(9)
此步驟中，要害技能之一在乎氣體微流量表。表1是美國規范技能鉆研院(NIST)、德國物理技能鉆研院(PTB)和中國LIP的比擬法校準真空漏孔安裝的技能指標。
參考漏孔靜態(tài)比擬法
比擬被校真空漏孔和已知漏率為口，的參考漏孔在檢漏儀中的輸入信號HL和Hs，用式(10)劃算被校真空漏孔的漏率。
(10)
式中H0為檢漏儀的本底信號;as和aL別離為參考漏孔和被校漏孔的熱度系數;△Ts，和△TL別離為校正點(diǎn)參考漏孔和被校漏孔與參考熱度的偏差。那末Qs、和QL無(wú)比瀕臨，則此步驟中最大的誤差源來(lái)自Qs的量值，因而作為參考規范用的參考漏孔務(wù)必定期用氣體微流量規范或其余高精度的相對式漏率規范繼續校準。這種步驟容易實(shí)用，許多漏孔校準試驗室都用它對實(shí)用型參考漏孔(作為非傳.遞規范用的參考漏孔)繼續校準。
動(dòng)態(tài)比擬法
定量氣體動(dòng)態(tài)比擬法
從被校真空漏孔流出的氣體在體積V內積攢一段工夫后，會(huì )構成一個(gè)分壓力，用質(zhì)譜計將此分壓力與規范分壓力繼續比擬，而后可失去真空漏孔的漏率。規范分壓力可用動(dòng)態(tài)收縮法或從已知漏率的漏孔流出氣體累積而失去。
美國SNL用動(dòng)態(tài)收縮法失掉規范分壓力，如圖7所示。在小容器V.內充入壓力為Pt的校準氣體(深淺為C)收縮到大容器V中作為規范壓力。歷次校正點(diǎn)，用小容器V.從大容器V中取樣，而后動(dòng)態(tài)收縮到Vm中，由質(zhì)譜計測量其分壓力信號Hs;再將被校參考漏孔通過(guò)工夫△t后在體積V.x。二中累積的氣體動(dòng)態(tài)收縮到Vm中，由質(zhì)譜計測量其分壓力信號Hx。最初用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL
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